[发明专利]发光器件及其制造方法有效
| 申请号： | 03142788.X | 申请日： | 2003-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1458640A | 公开（公告）日： | 2003-11-26 |
| 发明（设计）人： | 山崎舜平;村上智史;纳光明 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | G09F9/30 | 分类号： | G09F9/30;G09G3/00;H05B33/00;H01L31/12;H01L51/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明,张志醒 |
| 地址： | 日本神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 含有有机化合物的发光元件的不足之处在于它易于受到各种因素的影响而退化，所以它的最大问题是增加它的可靠性(使它的使用寿命更长)。本发明提供一种有源矩阵型发光器件的制造方法，以及具有高可靠性的这种有源矩阵型发光器件的结构。在方法中，形成延伸到源区或漏区的接触孔，然后在层间绝缘膜上形成由光敏有机绝缘材料制成的层间绝缘膜。在层间绝缘膜的上端部具有弯曲表面。随后，用RF电源通过溅射的方法形成由氮化硅膜提供的膜的厚度为20到50nm的层间绝缘膜。 | ||
| 搜索关键词： | 发光 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种发光器件，包括：在第一衬底和第二衬底之间具有发光元件和第一薄膜晶体管的像素部分；以及具有多个第二薄膜晶体管的驱动电路，其中发光元件具有第一电极、在第一电极上含有有机化合物的层以及在含有有机化合物的层上的第二电极，其中第一薄膜晶体管涂覆有由有机绝缘膜和覆盖有机绝缘膜的无机绝缘膜组成的层间绝缘层；其中在开口部分中形成台阶；其中无机绝缘膜具有沿有机绝缘膜的上端部的弯曲表面；以及其中第一电极的端部涂覆有上端部具有弯曲表面的绝缘材料。
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