[发明专利]十字标记保持方法、十字标记保持装置以及曝光装置无效
| 申请号： | 03142811.8 | 申请日： | 2003-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN1474236A | 公开（公告）日： | 2004-02-11 |
| 发明（设计）人： | 大久保至晴;菊地秀和 | 申请（专利权）人： | 尼康株式会社;仙台尼康株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种十字标记保持装置，是将市售的十字标记保持装置(十字标记容器)改良成EB曝光的十字标记所使用的容器。十字标记保持装置(1)具有容器底座(3)与容器上盖(5)。从下方支撑圆形十字标记基板(R)外周缘上约略相等分离的三个点(支撑点)的支撑部材(19)是被固定在容器底座(3)上。软质且非粘着性的押压部材(31)是设置在上盖(5)，用弹性恢复力从十字标记基板(R)的支撑点的正上方押住支撑点，利用从上下方三个地方，支撑与SEMI规格晶片相同形状的EB曝光用十字标记的外周缘，十字标记可以被稳定地支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 十字 标记 保持 方法 装置 以及 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种十字标记保持方法，用以保持图案形成于圆形基板的一个十字标记，其特征在于该十字标记保持方法包括：从下方支撑该十字标记基板的外周缘上的约略相等地分开的三个点(支撑点)；以及从该些支撑点的正上方，使软质且非粘着性的一个押部材产生向下弹性恢复力，来压住该些保持点。
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