[发明专利]铊系高温超导薄膜材料及其制备方法无效

专利信息
申请号: 03144207.2 申请日: 2003-08-29
公开(公告)号: CN1516297A 公开(公告)日: 2004-07-28
发明(设计)人: 阎少林;方兰;何明;路荣涛 申请(专利权)人: 南开大学
主分类号: H01L39/12 分类号: H01L39/12;H01L39/24;H01B12/06;H01B13/00;C04B35/00
代理公司: 天津市学苑有限责任专利代理事务所 代理人: 赵尊生
地址: 3000*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及Tl2Ba2CaCu2O8 (Tl-2212)超导材料薄膜及其制备方法。Tl-2212超导薄膜超导转变温度高于100K;77K温度下临界电流密度大于106A/cm2;77K温度下、10GHz频率时的表面电阻小于1mΩ。Tl-2212超导材料薄膜的厚度在10nm-1000nm之间。本发明主要是采用两步方法制作Tl-2212外延超导薄膜:第一步,在衬底基片上淀积Tl-Ba-Ca-Cu-O非晶先驱薄膜;第二步,高温热处理,使Tl-Ba-Ca-Cu-O非晶先驱薄膜转变为超导薄膜。本发明解决了大面积双面Tl-2212外延超导薄膜的制备方法。本发明制作的Tl-2212外延超导薄膜可用来制作微波无源器件或其他超导电子器件。
搜索关键词: 高温 超导 薄膜 材料 及其 制备 方法
【主权项】:
1、一种铊系高温超导薄膜材料,通式是Tl2Ba2CaCu2O8,其特征在于所述的Tl2Ba2CaCu2O8薄膜的超导转变温度Tc>100K,液氮温度下临界电流密度Jc(77K)>1×106 A/cm2,液氮温度下10GHz的表面电阻Rs<1mΩ;所述的超导薄膜在衬底基片的一面上或两面上;所述的超导薄膜的厚度在10nm-1000nm之间。
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