[发明专利]可挠式基板的微型超声波换能器有效
| 申请号： | 03145154.3 | 申请日： | 2003-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN1566940A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 邓泽民;樊天柱;李国骧;张明暐;赖志敏;邱家麟 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N29/00 | 分类号： | G01N29/00;G01N29/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王占梅 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种可挠式基板的微型超声波换能器，其中包括：一基板，是由可挠性材料制成，其上、下设有第一表面及第二表面，其中该第一表面二侧设有支架，以形成可挠性的支撑结构；及一震荡膜，设有第一表面及第二表面，其中第二表面设于支架上；及多个第一电极与第二电极，其中第一电极设于基板上，第二电极置于震荡膜上；藉上述组合，能在不增加成本的条件下，达成降低制造步骤，提高震荡膜变形与增加驱动/感测电极间有效感应面积等多重目标，降低阻抗与匹配层的影响，有利于感测灵敏度与效能提高。 | ||
| 搜索关键词： | 可挠式基板 微型 超声波 换能器 | ||
【主权项】：
1、一种可挠式基板的微型超声波换能器，是由多个微型超声波换能器单元所组成，其特征是：该微型超声波换能器单元包括：一基板，是由可挠性材料制成，其上、下设有第一表面及第二表面，其中该第一表面二侧设有支架，以形成支撑结构；及一震荡膜，设有第一表面及第二表面，其中第二表面设于支架上；及一电极置于震荡膜上，与基板连结于一电源上；藉上述组合，能在不增加成本的条件下，达成降低制造步骤，提高震荡膜变形与增加驱动/感测电极间有效感应面积等多重目标，降低阻抗与匹配层的影响，有利于感测灵敏度与效能提高。
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