[发明专利]阵列式微机电电容式麦克风无效
| 申请号： | 03145290.6 | 申请日： | 2003-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1568094A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 白明宪;黄士韦;张昭智 | 申请（专利权）人： | 佳乐电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种阵列式微机电电容式麦克风，包含一基座，及一封装于基座中的电容式麦克风装置。电容式麦克风装置具有一基材、多个于基板上以微机电技术形成阵列形式的电容式麦克风单元，及一对所述电容式麦克风单元产生的电子信号进行运算的模拟演算装置，借此，使阵列式微机电电容式麦克风具有高指向性及高信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 式微 机电 电容 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种阵列式微机电电容式麦克风，包含：一界定出一容置空间的基座；及一容置于该容置空间中的电容式麦克风装置，是以一微机电系统技术形成，具有一基材，及多个形成于该基材上的电容式麦克风单元，该每一电容式麦克风单元包括有一电极层、一自该电极层向下形成的振动膜、一自该电极层向下形成的背板，及多个分别穿通该背板的音孔，该电极层、振动膜，与背板是先极化共同形成一电容，该振动膜与该背板共同界定出一气室，且该背板与该基材共同界定出一背气室，该气室与背气室借该穿孔相连通，供一气流在该气室、背气室与该音孔间流动，而使当接收一声源时，该振动膜产生相对应的形变而使该电容改变。
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