[发明专利]基板处理装置

摘要

该基板处理装置是具有转动以适当间隔平行排列的多个基板的转子(45)，一边通过上述转子(45)转动基板(W)，一边对基板(W)提供药液并进行处理的基板处理装置，上述转子(45)具有至少1个保持上述平行排列的多个基板(W)的边缘的保持部件(95、96、97、98、99)和至少1个对上述基板(W)的边缘提供并保持按压力的按压部件(100)，上述按压部件(100)在上述转子(45)静止时和转动时的任一情况下，始终对上述基板(W)的边缘提供按压力，保持在上述基板(W)的边缘和上述各保持部件(95、96、97、98、99)之间不产生偏移。从而，防止基板边缘被削掉，延长保持棒的寿命，并且可以进行药液处理。

主权项

1.一种基板处理装置，具有转动以适当间隔平行排列的多个基板的转子，一边通过上述转子转动基板，一边处理基板，其特征在于：上述转子具有至少1个保持上述平行排列的多个基板边缘的保持部件和至少1个对上述基板的边缘提供并保持按压力的按压部件，上述按压部件在上述转子静止时和转动时的任一情况下，始终对上述基板的边缘提供按压力，保持在上述基板的边缘和上述各保持部件之间不产生偏移。