[发明专利]高耐久性石英玻璃，其制造方法，使用它的部件及装置有效
| 申请号： | 03145460.7 | 申请日： | 2003-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN1461740A | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 新井一喜;高畑努;桥本真吉;桐谷英昭;原田美德 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社;东曹石英股份有限公司;东曹石英素材股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C4/00 | 分类号： | C03C4/00;C03C3/04;H01L21/205 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及含有Al和选自周期表第2A族元素、第3A族元素及第4A族元素中的一种以上元素(M)的高耐久性石英玻璃。优选Al和元素(M)的含量之和以金属元素总计量为基准在30原子％以上，并且Al和元素(M)的原子比在0.05～20范围。该石英玻璃为高纯度，并且在维持石英玻璃具有的良好加工性、低发尘性的情况下具有高耐久性，因此，适合作为使用卤化物气体和/或其等离子体的半导体制造装置或液晶制造装置的部件。 | ||
| 搜索关键词： | 耐久性 石英玻璃 制造 方法 使用 部件 装置 | ||
【主权项】：
1.一种高耐久性石英玻璃，其特征在于：含有Al和选自周期表第2A族元素、第3A族元素及第4A族元素中的一种以上的元素(M)。
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