[发明专利]样品倾斜的测量方法有效
| 申请号： | 03145491.7 | 申请日： | 2003-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1470848A | 公开（公告）日： | 2004-01-28 |
| 发明（设计）人： | 葛宗涛;小林富美男;田中公二彦 | 申请（专利权）人： | 富士写真光机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;G02B6/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 黄必青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种样品倾斜的测量方法，这种方法在于，使具有平面形状前端面的柱状件处于由夹具夹持的状态，相对干涉仪转动一个预定角度，测定两个转动位置中每个位置的所述干涉仪的基准面和前端面之间的相对角度，根据如此测得的两个角度，使用预定的算术表达式测量所述柱状件的轴线倾斜度。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 倾斜 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种样品倾斜的测量方法，用于测量具有平面形状前端面的柱状件的轴线的倾斜度，所述柱状件由夹具加以夹持，作为样品的所述前端面用角度测量仪进行观察；所述方法包括以下步骤：使所述柱状件相对于所述角度测量仪转动一个预定角度，同时处于由所述夹具夹持的状态，测定两个转动位置中每个位置的角度；以及根据所述测得的两个角度，使用预定的算术表达式测量所述柱状件的所述轴线的所述倾斜度。
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