[发明专利]薄膜磁头、其制造方法和带使用薄膜磁头的滑动器的磁盘装置

摘要

通过提供具有小于等于40的厚度的保护膜提供抗耐腐蚀性高、用于大容量记录媒介的磁阻薄膜磁头。由于磁头和媒介之间的间距明显降低，薄膜适于具有高存储密度的记录媒介。提供了磁阻型薄膜磁头，其中由具有如下通式表示的成分的类金刚石薄膜并且厚度小于等于40的保护膜：CHaObNcFdBePf(其中a＝0－0.7，b＝0－1，c＝0－1，d＝0－1，e＝0－1及f＝0－1，以原子比计)，至少形成于接触记录媒介的磁头表面。还提供了其制造的方法，和使用薄膜磁头的磁头装置。

主权项

1.一种薄膜磁头，它具有含磁阻元件的MR磁头部分其特征在于，至少在朝向记录媒介的所述MR磁头部分的表面上形成有其组成由以下通式表示的保护膜：CHaObNcFdBePf 其中a＝0-0.7，b＝0-1，c＝0-1，d＝0-1，e＝0-1及f＝0-1，以原子比计，并且厚度等于或小于40。