[发明专利]用于干蚀刻反应室的压力计感应器的缓冲器有效
| 申请号： | 03146106.9 | 申请日： | 2003-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN1570581A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 彭顺煌;杨世雄;梁忠棋;黄明夷 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于干蚀刻反应室的压力计感应器的缓冲器。这种缓冲器包括用来连接该反应室与该压力计的一真空管和用来阻挡该反应室的电浆直接冲击该感应器的至少一板片，该板片设置在该真空管内壁上，可有效防止电浆附着在该感应器上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蚀刻 反应 压力计 感应器 缓冲器 | ||
【主权项】：
1.一种用于干蚀刻反应室的压力计感应器的缓冲器，包括：一真空管，连接该反应室与该压力计，其特征在于至少一板片，设置在该真空管内壁上，用来阻挡该反应室的电浆直接冲击该感应器。
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