[发明专利]一种微型电磁继电器及其制造方法

摘要

一种微型电磁继电器及其制造方法属于先进制造技术领域。本发明是基于微机电系统工艺在硅片上制作的一种单稳态单触点微电磁继电器，它由硅基板(19)、励磁线圈(8)、继电器触点(13)、活动衔铁(16)和硅基板背面的铬铜薄膜层(5)、铁镍合金层(6)等部分组成；主要制造工艺特点是，1)首先从硅片背面开磁芯孔，但不刻蚀透，然后在基板正面上刻蚀出线圈槽；高温湿氧化后，在基板背面制作磁芯孔和磁路；2)从正面刻蚀透磁芯孔，然后采用溅射、电镀铜工艺制作励磁线圈；3)采用溅射银和光刻工艺制作继电器触点；4)采用电铸铁镍工艺制作活动衔铁。本发明具有质量体积小，生产成本低、可靠性高、继电器触点可通过较大电流等特点。

主权项

1、一种微型电磁继电器，其特征在于，它包括有励磁线圈(8)、励磁线圈端子(12)、继电器触点(13)、活动衔铁(16)和硅基板(19)；硅基板(19)正面开有呈平面螺旋线分布的线圈槽(2)和凹孔状的端子槽(3)，线圈槽(2)中设置励磁线圈(8)，端子槽(3)中设置有导电的金属，硅基板(19)的正面在与端子槽(3)和呈平面螺旋线分布的线圈槽(2)的外端(4’)对应的位置设置有励磁线圈端子(12)，励磁线圈端子(12)分别与端子槽(3)中的金属和线圈槽(2)中的励磁线圈(8)电联结，硅基板(19)的正面表面设置有绝缘层(20)，在绝缘层(20)的表面设置有两个继电器触点(13)，硅基板(19)的正面还设置有铁镍合金制作的一端与硅基板(19)固定、另一端可向下连通两个继电器触点(13)的活动衔铁(16)；硅基板(19)的背面在与端子槽(3)和线圈槽(2)的中心端(4)对应位置开有磁芯孔(17)，磁芯孔(17)底部附着有磁性铁镍合金，并与端子槽(3)中的金属和线圈槽(2)中的励磁线圈(8)电联结，由磁芯孔(17)的孔面向硅基板背面方向依次设置有溅射生长的铬铜薄膜层(5)，及既作磁路部分、又兼作磁芯孔(17)之间电联结的铁镍合金层(6)。