[发明专利]可掀式探针卡反面调针治具及其调针方法有效
| 申请号： | 03146462.9 | 申请日： | 2003-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN1571133A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 林林宝 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01R1/02;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘领弟 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种可掀式探针卡反面调针治具及其调针方法。为提供一种可完全调整探针卡针位到正确位置的积体电路检测器具调整装置及其方法，提出本发明，治具包括电子显微镜、底座、设于底座上转动结构、连设于转动结构并放置可抽换玻璃的玻璃基座及借以缓冲玻璃基座翻转至水平共面时的速度的缓冲件；玻璃基座上设有并借以翻转调整玻璃基座的翻转结构；方法包括固定探针卡、安装可掀式探针卡反面调针治具及调整探针卡针位；固定探针卡系以探针卡的反面朝上将探针卡固设于调针机平台上；安装可掀式探针卡反面调针治具系将具有遮罩薄膜的可抽换式玻璃设于玻璃基座上，遮罩薄膜具有多个探针定位点；调整探针卡针位系使探针卡探针的针位对准遮罩薄膜上的定位点。 | ||
| 搜索关键词： | 可掀式 探针 反面 调针治具 及其 方法 | ||
【主权项】：
1、一种可掀式探针卡反面调针治具，它包括电子显微镜；其特征在于所述的调针机平台上固设底座；底座设有转动结构；转动结构连设放置可抽换玻璃的玻璃基座及借以缓冲玻璃基座翻转至水平共面时的速度的缓冲件；玻璃基座上设有并借以翻转调整玻璃基座的翻转结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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