[发明专利]微机电系统（MEMS）可变光衰减器无效
| 申请号： | 03146519.6 | 申请日： | 2003-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN1512254A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 洪允植;尹湘基;洪硕基;李玲揆;郑成天;李浈铉 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/19 | 分类号： | G02F1/19;G02B6/26;H04B10/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜;谷惠敏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS可变光衰减器，包括具有平面的衬底；光纤，分别具有光信号发射端和光信号接收端，同轴安置在所述衬底上；安置在所述衬底上的微电子激励器，用于沿垂直于所述光束的光轴的方向提供工作冲程；安置在所述衬底上的至少一个杠杆结构，用于在其第一端接收微电子激励器的所述工作冲程，以及通过其第二端，将放大的移动距离传送到光闸；光闸，安置在所述衬底上并连接到所述杠杆结构的第二端以便移动所述放大的移动距离，从而移动到所述光束的衰减位置。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 可变 衰减器 | ||
【主权项】：
1.一种微型机电系统可变光衰减器，用于基于电输入信号，使光束的光功率衰减可变衰减量，包括：具有平面的衬底；一对光波导，分别具有光信号发射端和光信号接收端，同轴安置在所述衬底上；安置在所述衬底上的微电子激励器，用于沿垂直于所述光束的光轴的方向提供工作冲程；安置在所述衬底上的至少一个杠杆结构，用于在其第一端接收微电子激励器的所述工作冲程，以及通过其第二端，将放大的移动距离传送到光闸；光闸，安置在所述衬底上并连接到所述杠杆结构的第二端，以便移动所述放大的移动距离，从而移动到所述光束的衰减位置。
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