[发明专利]微细结构体的制造方法、液体喷出头的制造方法和液体喷出头

摘要

本发明提供一种低价、精密、可靠性高的液体喷出头和制造该喷出头的方法。在基板上形成热交联的正型感光材料层(第1正型感光材料层)和第2正型感光材料层，先在第2正型感光材料层上形成图案后，在第1正型感光材料层上形成图案。然后在其上层合形成流路壁的负型树脂，在该负型树脂层上形成喷出孔后除去正型感光材料层。作为第1正型感光材料，使用甲基丙烯酸单元含量为2－30重量％、分子量为5000－50000的含甲基丙烯酸的甲基丙烯酸类共聚物组合物，该组合物为致电离射线分解型正型抗蚀剂，第2正型感光材料层是以聚甲基异丙烯基酮为主成分的致电离射线分解型正型抗蚀剂。

主权项

1、一种微细结构体的制造方法，该方法是在基板上形成热交联的第1正型感光材料层，然后在其上形成与第1正型感光材料层的感光波长区域不同的第2正型感光材料层，首先只使第2正型感光材料层的所希望区域发生分解反应后进行显影，在该第2正型感光材料层上形成图案后，使第1正型感光材料层的预定区域发生分解反应后进行显影，在所述第1正型感光材料层上形成图案，制造正型感光材料层的上下图案不同的微细结构体，其特征在于，第1正型感光材料是以甲基丙烯酸酯为主成分、以含有甲基丙烯酸的甲基丙烯酸类共聚物组合物为热交联因子的致电离射线分解型正型抗蚀剂，甲基丙烯酸单元的含量为2-30重量％且共聚物的分子量为5000-50000，第2正型感光材料层是以聚甲基异丙烯基酮为主成分的致电离射线分解型正型抗蚀剂。