[发明专利]液体喷出头的制造方法

摘要

提供一种能实现液滴喷出速度高速化、液滴喷出量稳定化、能够提高液滴喷出效率的液体喷出头及其制造方法。液体喷出头1具有：加热器20、元件基板11、具有喷出液滴的喷出口26a的喷出口部26、发泡室、和向发泡室供给液体用的供给流路的喷嘴27、和向喷嘴27供给液体用供给室的喷出孔基板12，发泡室由第一发泡室31a和其上的第二发泡室31b构成，第二发泡室上具有台阶高度差与喷出口部26连通，而且第二发泡室31b的侧壁以10～45°倾斜地朝喷出口方向缩小，此外通过将统计流路的上面朝着供给室侧提高，能够使供给流路内的液量增加，改善喷出量的温度依存性。

主权项

1.一种液体喷出头的制造方法，其中所说的液体喷出头具有：产生用于喷出液滴的能量的喷出能量发生元件，主面上设置了所说的喷出能量发生元件的元件基板，具有喷出液滴喷出口的喷出口部、利用所说的喷出能量发生元件使内部液体产生气泡的发泡室、和具有向所说的发泡室供给液体用供给流路的喷嘴，向所说的喷嘴供给液体用供给室、结合在所说的元件基板主面上的喷出孔基板，其特征在于包括以下步骤：在主面上设置了所说的喷出能量发生元件的元件基板上，涂布用于形成第一发泡室和第一流路的图案的溶剂可溶性热交联型有机树脂，将其加热，形成热交联膜的步骤，在所说的热交联膜上涂布用于形成第二发泡室和第二流路的图案的溶剂可溶性有机树脂的步骤，通过使曝光量部分不同，在所说的有机树脂上与所说的第二发泡室的图案同时形成高度低于所说的第二发泡室的第二流路图案的步骤，在所说的热交联膜和被图案化的有机树脂上层合负型有机树脂层之后，在所说的负型有机树脂层上形成所说的喷出口部的步骤，和除去所说的热交联膜和图案化的有机树脂的步骤。