[发明专利]匹配箱、使用匹配箱的真空装置及真空处理方法有效
| 申请号： | 03147073.4 | 申请日： | 2003-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN1495283A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 矢岛太郎;赤石稔;堀下芳邦 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/40 | 分类号： | C23C14/40 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘宗杰;叶恺东 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种较容易地再生成等离子体的真空装置。使用于本发明的真空装置(1)中的匹配箱(2)，通过改变可变电感元件(31)、(35)的电感值，就能改变阻抗。由于可变电感元件(31)、(35)的电感值可以通过控制直流电源的大小来进行控制，因此能高速地进行匹配工作。 | ||
| 搜索关键词： | 匹配 使用 真空 装置 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种匹配箱，与等离子体发生装置连接，使从交流电源输入的交流电的相位变化，输出到上述等离子体发生装置中，其特征在于，上述匹配箱具有可变电感元件，上述可变电感元件具有决定该可变电感元件的阻抗的主绕组和与上述主绕组相互磁耦合的控制绕组，具有其构成使得由流向上述控制绕组的直流电流的大小来控制上述主绕组的阻抗的电感元件。
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