[发明专利]反射镜装置、光开关、电子设备和反射镜装置驱动方法

摘要

为了提供一种能够利用较小的驱动力较大地驱动反射镜的反射镜装置、光开关、电子设备和反射镜装置驱动方法，在硅衬底1上，设置：与所述反射镜10整体地形成、设置在与反射镜10不同的位置的至少一个第1反射镜侧作用部，和设置在反射镜10端部的至少一个第2反射镜侧作用部；在玻璃衬底2上，设置：在与所述第1反射镜侧作用部之间作用库仑力的相对侧作用部23、24，和在与第2反射镜侧作用部之间作用库仑力的相对侧作用部21，形成玻璃衬底2使得第1反射镜侧作用部和相对侧作用部23、24的间隔，与第2反射镜侧作用部和相对侧作用部21的间隔相比较要窄。

主权项

1.一种反射镜装置，其包括：具有通过规定距离决定驱动力被驱动的反射镜的反射镜衬底，和支持该反射镜衬底的支持衬底；其特征在于：所述反射镜衬底具有：所述距离决定驱动力作用的同时，与所述反射镜整体地形成、设置在与所述反射镜不同的位置的至少一个第1反射镜侧作用部，和在所述距离决定驱动力作用的同时，设置在所述反射镜被驱动的一个方向一侧和与该方向相反的方向一侧中的至少一个的反射镜端部的至少一个第2反射镜侧作用部；所述支持衬底具有：在与所述第1反射镜侧作用部之间作用所述距离决定驱动力的至少一个第1相对侧作用部，和在与所述第2反射镜侧作用部之间作用所述距离决定驱动力的至少一个第2相对侧作用部；所述第1和第2反射镜侧作用部以及所述第1和第2相对侧作用部形成为，可以产生作为所述距离决定驱动力的至少一部分的吸引力；所述反射镜衬底和所述支持衬底中的至少一个形成为，使得所述第1反射镜侧作用部和所述第1相对侧作用部的间隔，与所述第2反射镜侧作用部和所述第2相对侧作用部的间隔相比较窄。