[发明专利]X射线掩模与石英环紫外固化装置及使用方法无效
| 申请号： | 03147402.0 | 申请日： | 2003-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1567088A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 谢常青;叶甜春;陈大鹏;李兵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子中心 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 10002*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种X射线掩模与石英环紫外固化装置包括：一X射线掩模工作台，该工作台包括安装在其上的X方向位移手轮、Y方向位移手轮和绕Z轴旋转手轮；一真空夹具位于X射线掩模工作台的下方，该真空夹具通过管道来真空吸附X射线掩模，X射线掩模工作台主要用来放置待紫外固化的X射线掩模；一石英环工作台，该石英环工作台位于X射线掩模工作台的下方，以防止X射线掩模的形变；一紫外光源位于石英环工作台的下方；一平行透镜位于石英环工作台和紫外光源之间；一用于观测对准状况的显微镜位于X射线掩模工作台的上方；所说的X射线掩模工作台、石英环工作台、紫外光源、平行透镜和显微镜均安装在一框架上。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 石英 紫外 固化 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种X射线掩模与石英环紫外固化装置，其特征在于，包括：一X射线掩模工作台，该工作台包括安装在其上的X方向位移手轮、Y方向位移手轮和绕Z轴旋转手轮；一真空夹具位于X射线掩模工作台的下方，该真空夹具通过管道来真空吸附X射线掩模，X射线掩模工作台主要用来放置待紫外固化的X射线掩模；一石英环工作台，该工作台包括安装在其上的X方向粗调位移手轮、X方向细调位移手轮、Y方向粗调位移手轮、Y方向细调位移手轮、Z方向粗调位移手轮和Z方向细调位移手轮，该石英环工作台主要用来放置待紫外固化的石英环，该石英环工作台位于X射线掩模工作台的下方，以防止X射线掩模的形变；一紫外光源，用于提供紫外固化所需要的紫外光源，该紫外光源位于石英环工作台的下方；一平行透镜，用于扩束，该平行透镜位于石英环工作台和紫外光源之间；一用于观测对准状况的显微镜，用于观测待紫外固化的X射线掩模和石英环的对准状况，以便位移调节X射线掩模和石英环，该显微镜位于X射线掩模工作台的上方；所说的X射线掩模工作台、石英环工作台、紫外光源、平行透镜和显微镜均安装在一框架上。
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