[发明专利]微镜检测方法及其检测装置无效
| 申请号： | 03147629.5 | 申请日： | 2003-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN1570555A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 郭建峰 | 申请（专利权）人： | 明基电通股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;H01S5/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈小雯;李晓舒 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微镜检测方法，包括下述步骤，先将微镜组件设于承座的微镜承靠面。再利用光源朝向微镜组件射出光束。光束从微镜组件反射至靶面，并在该靶面上投射出一第二光点。测量该第二光点相对于基准点的距离X，并由此计算微镜组件于承座上的倾斜度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微镜检测装置，用于检测一微镜组件于一承座上的倾斜度，包括：一靶面；以及一光源，该光源朝向该微镜组件射出一光束，该光束从该微镜组件反射至该靶面。
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