[发明专利]光波导装置、光波导装置的制造方法以及光通信装置无效
申请号: | 03148128.0 | 申请日: | 2003-07-01 |
公开(公告)号: | CN1477410A | 公开(公告)日: | 2004-02-25 |
发明(设计)人: | 速水一行;古村由幸;寺川裕佳里;细川速美;高桥敏幸;樋口诚良;多田罗佳孝;安田成留;野泽洋人 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 潘培坤;楼仙英 |
地址: | 日本京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种光波导装置的制造方法,简化光波导装置的制造工序,适合于大量生产。设置用于将光纤固定到硅基板的波导固定区域外的光纤引导槽和用于设置元件安装台的光学元件设置部。金属薄膜形成在硅基板的波导固定区域以外。在该硅基板的整个上面经构成上包覆层的粘接树脂粘接波导基板后,沿着波导固定区域的边缘切割波导基板,去除波导固定区域外部的波导基板,露出光纤引导槽和光学元件设置部。 | ||
搜索关键词: | 波导 装置 制造 方法 以及 光通信 | ||
【主权项】:
1.一种光波导装置的制造方法,其特征在于跨越大致整个面把备有由透过并传输光的波导芯和包围波导芯的包覆层构成的光波导区域的第一基板与备有功能部位的第二基板粘接起来并使上述功能部位的至少一部分与第一基板的光波导区域外相对后;去除与上述功能部位相对的第一基板的不要部分。
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