[发明专利]锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法无效
| 申请号： | 03148177.9 | 申请日： | 2003-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN1475465A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 赵大庆;董民超 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C04B41/89 | 分类号： | C04B41/89;C04B41/90 |
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| 地址： | 100084北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法，属特种材料的表面处理工艺领域。本发明表面背铟方法分为2个步骤：1、在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面烧结一层银：具体的做法是在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面均匀的喷涂一层锌铝氧化物陶瓷靶材专用银浆，该银浆由氧化银70～80％wt、二氧化硅10－15％wt、松节油10～20％wt组成。干燥后放到加热炉加热到550～580℃，保持15分钟，自然冷却后便可在锌铝氧化物靶材的表层形成均匀的一层银。2、在已烧结银层的锌铝氧化物陶瓷靶材表面焊接一层铟：具体作法是把带有烧结有银层的锌铝氧化物陶瓷靶材加热到180～200℃，加铟在银层的表面均匀的融化，5～8分钟后铟和银互融，完成在银的表面焊接铟的过程。本方法工艺简单，操作方便，产品成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 陶瓷 表面 方法 | ||
【主权项】：
1、一种锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法，其特征是由下列二个步骤组成：①在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面烧结一层银：具体的做法是在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面均匀的喷涂一层锌铝氧化物陶瓷靶材专用银浆，所说的银浆由氧化银70～80％wt、二氧化硅10～15％wt、松节油10～20％wt组成，干燥后放到加热炉加热到550～580℃，保持15分钟，自然冷却后便可在锌铝氧化物靶材的表层形成均匀的一层银；②在已烧结的银层锌铝氧化物陶瓷靶材表面融一层铟：具体作法是把带有烧结有银层的锌铝氧化物陶瓷靶材加热到180～200℃，加铟在银层的表面均匀的融化，5～8分钟后铟和银互融，完成在银的表面焊接铟的过程。
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