[发明专利]半导体芯片安装设备和安装方法无效

专利信息
申请号: 03148321.6 申请日: 2003-06-27
公开(公告)号: CN1472785A 公开(公告)日: 2004-02-04
发明(设计)人: 村山启 申请(专利权)人: 新光电气工业株式会社
主分类号: H01L21/58 分类号: H01L21/58
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 于静;李峥
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种半导体芯片安装设备,当将半导体芯片安装在封装时能够提高定位精度,该设备包括其上承载基板的工作台,从工作台上直接照射基板的可见光源,半导体芯片传送装置,从一个表面保持由硅组成的半导体芯片并将它传送到承载在工作台上的基板上,该半导体芯片有一个可见光可以穿过的厚度,俘获装置,设置在面向工作台的一个位置处,并俘获穿过半导体芯片传送装置所保持的半导体芯片的可见光,以俘获形成在工作台上承载的基板上和半导体芯片上的图形,以及定位装置,根据俘获装置俘获的基板和半导体芯片的图形在基板上定位半导体芯片。
搜索关键词: 半导体 芯片 安装 设备 方法
【主权项】:
1.一种半导体芯片安装设备,通过倒装结合将半导体芯片安装在基板上,该设备包括:其上承载基板的工作台,从工作台上直接照射基板的可见光源,半导体芯片传送装置,用于从一个表面保持由硅组成的半导体芯片并 将它传送到承载在工作台上的所述基板上,该半导体芯片具有一个可见光可以穿过的厚度,俘获装置,设置在面向所述工作台的一个位置上,俘获穿过所述半导体芯片传送装置保持的所述半导体芯片的可见光,以俘获形成在所述工作台上承载的基板上和所述半导体芯片上的图形,以及定位装置,根据俘获装置俘获的所述基板和所述半导体芯片的图形在所述基板上定位所述半导体芯片。
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