[发明专利]半导体芯片安装设备和安装方法无效
申请号: | 03148321.6 | 申请日: | 2003-06-27 |
公开(公告)号: | CN1472785A | 公开(公告)日: | 2004-02-04 |
发明(设计)人: | 村山启 | 申请(专利权)人: | 新光电气工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/58 | 分类号: | H01L21/58 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 于静;李峥 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种半导体芯片安装设备,当将半导体芯片安装在封装时能够提高定位精度,该设备包括其上承载基板的工作台,从工作台上直接照射基板的可见光源,半导体芯片传送装置,从一个表面保持由硅组成的半导体芯片并将它传送到承载在工作台上的基板上,该半导体芯片有一个可见光可以穿过的厚度,俘获装置,设置在面向工作台的一个位置处,并俘获穿过半导体芯片传送装置所保持的半导体芯片的可见光,以俘获形成在工作台上承载的基板上和半导体芯片上的图形,以及定位装置,根据俘获装置俘获的基板和半导体芯片的图形在基板上定位半导体芯片。 | ||
搜索关键词: | 半导体 芯片 安装 设备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体芯片安装设备,通过倒装结合将半导体芯片安装在基板上,该设备包括:其上承载基板的工作台,从工作台上直接照射基板的可见光源,半导体芯片传送装置,用于从一个表面保持由硅组成的半导体芯片并 将它传送到承载在工作台上的所述基板上,该半导体芯片具有一个可见光可以穿过的厚度,俘获装置,设置在面向所述工作台的一个位置上,俘获穿过所述半导体芯片传送装置保持的所述半导体芯片的可见光,以俘获形成在所述工作台上承载的基板上和所述半导体芯片上的图形,以及定位装置,根据俘获装置俘获的所述基板和所述半导体芯片的图形在所述基板上定位所述半导体芯片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新光电气工业株式会社,未经新光电气工业株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/03148321.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造