[发明专利]带有整体式力传感器的夹紧元件无效
| 申请号： | 03148446.8 | 申请日： | 2003-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1472790A | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | 拉斐尔·伯恩哈德斯格鲁特;亚历山大·格雷贝尔;汉斯约里·古杰;彼得·赫斯;尼科利诺·翁达 | 申请（专利权）人： | ESEC贸易公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;F16B2/16 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林潮;顾红霞 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于沿着预定传送方向来传送基片的夹紧元件包括第一和第二支腿(2；3)，它带有用于夹紧基片(8)的第一和第二夹爪(6；7)。这两个夹爪(6；7)的每一个都有一个夹板(14)，它能够相对于相应的支腿(2或3)沿传送方向移动。传感器检测第一夹板(14)相对第一支腿(2)的偏转。一旦所测的偏转超过一个预定阀值，夹紧元件就会张开。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 整体 传感器 夹紧 元件 | ||
【主权项】：
1.一种夹紧元件，包括：一个第一和第二支腿(2；3)，分别带有一个第一和第二夹爪(6；7)用以夹紧基片(8)，这两个夹爪(6；7)的每个都包括一个可以沿一个预定方向相对于相应的支腿(2；3)偏转的夹板(14)，以及一个传感器，用来测量第一夹板(14)相对第一支腿(2)的偏转，传感器的输出信号包含是否要保持闭合还是张开这两个夹爪(6；7)的信息。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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