[发明专利]光间隔壁的制造方法有效
| 申请号： | 03148471.9 | 申请日： | 2003-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1567068A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张业成 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1343 | 分类号： | G02F1/1343;G02F1/136;G03F7/00;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种光间隔壁的制造方法，首先，提供玻璃衬底。形成薄膜晶体管、数据线及扫描线于玻璃衬底上，数据线与扫描线交迭于交错区，薄膜晶体管具有一源极和一漏极。形成光致抗蚀剂层于薄膜晶体管、数据线、扫描线及交错区之上。使用一半色调(half－tone)掩模构图光致抗蚀剂层，以同时形成光间隔壁、绝缘层及接触孔。绝缘层形成于薄膜晶体管、数据线、扫描线及交错区之上，光间隔壁形成于对应至数据线、扫描线及交错区的绝缘层上。接触孔形成于绝缘层中，用来暴露该源极或该漏极。 | ||
| 搜索关键词： | 间隔 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光间隔壁的制造方法，包括：提供一玻璃衬底；形成至少一薄膜晶体管、一数据线及一扫描线于该玻璃衬底上，该数据线与该扫描线交迭于一交错区，该薄膜晶体管具有一源极和一漏极；形成一光致抗蚀剂层于该薄膜晶体管、该数据线、该扫描线及该交错区之上；以及使用一半色调掩模构图该光致抗蚀剂层，以形成至少一光间隔壁、一绝缘层及一第一接触孔，其中，该绝缘层形成于该薄膜晶体管、该数据线、该扫描线及该交错区之上，该光间隔壁形成于对应至该数据线、该扫描线及该交错区的该绝缘层上，该第一接触孔形成于该绝缘层中，用来暴露该源极或该漏极。
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