[发明专利]热剥离薄膜图案化加工方法无效
| 申请号： | 03148599.5 | 申请日： | 2003-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1470395A | 公开（公告）日： | 2004-01-28 |
| 发明（设计）人： | 韩艳春;王哲;邢汝博 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春应用化学研究所 |
| 主分类号： | B41M5/00 | 分类号： | B41M5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130022吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于热剥离图案化加工方法。采用转移微模塑的方法预固化形成环氧树脂模板；将需要图案化的介质在平面基底上成膜；将预固化的环氧树脂模板由上向下压在需要图案化的薄膜表面，并保持0.1～0.5MPa的压力，然后在80～120℃条件下加深固化5～15分钟，最后，将环氧树脂模板剥离，与环氧树脂表面突起部分图形相同的薄膜随环氧树脂模板剥落，从而在薄膜上形成图形。本发明的方法具有加工设备及工艺简单、形成图案精度高、加工成本低、效率高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 薄膜 图案 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热剥离薄膜图案化加工方法，采用转移微模塑的方法预固化形成环氧树脂模板，其特征在于，在平面基底上加工一层需要图案化的有机薄膜或金属薄膜，将表面具有图形的环氧树脂模板压在需要图案化的薄膜表面，加上0.1～0.5MPa的压力，并在80～120℃温度条件下保持5～15分钟，然后将环氧树脂模板剥离，得到图案化的有机薄膜或金属薄膜。
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