[发明专利]掩膜数据加工装置

摘要

本发明提供能够在掩膜的整个面上进行设计数据展开的掩膜数据的加工装置，如果从存储装置MR把子芯片的设计数据D1以及掩膜数据生成标准数据D2输入到占有率数据发生装置10，则对于子芯片的设计数据D1，根据掩膜数据生成标准数据D2，在数据运算单元11中实施运算处理，进行掩膜数据的自动生成处理，层运算处理以及虚拟图形的生成处理，在图形面积计算单元12中进行图形的面积计算时，进行去除图形之间的重复的处理，使得不重复进行运算，而且，在占有率数据计算单元13中，根据图形的面积，计算包含在单位区域中的图形要素，即图形要素的面积比例。

主权项

1.一种掩膜数据加工装置，该掩膜数据加工装置加工在具有多个子芯片构成的半导体装置的形成中使用的复制用掩膜的掩膜数据，特征在于：具备按照上述每一个子芯片处理设计数据，作为上述每一个子芯片的占有率，输出在上述每一个子芯片的形成工序中所包含的图形的每单位区域的面积占有率的占有率数据发生装置。