[发明专利]组合物、成膜方法及成膜装置、电光学装置及其制造方法有效
| 申请号： | 03148943.5 | 申请日： | 2003-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1469693A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 远藤彩映;关俊一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/14 | 分类号： | H05B33/14;H05B33/10;B05D7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种把图案形成用材料液体化时，可以抑制气泡发生的液体组合物，以及用该组合物能以高生产率地形成膜图案的成膜装置。本发明的成膜装置，具有：生成含有有机功能材料、溶剂和表面活性剂的液体组合物生成装置S；向基板P喷出由液体组合物生成装置S生成的液体组合物构成的液滴的液滴喷出装置IJ。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 方法 装置 光学 及其 制造 | ||
【主权项】：
1、一种组合物，其特征在于其中在含有有机功能材料和溶剂的液体中添加有表面活性剂。
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