[发明专利]含有金刚烷基烷基乙烯醚的光敏聚合物及含有该聚合物的光阻剂组合物有效
| 申请号： | 03149009.3 | 申请日： | 2003-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1472231A | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | 崔相俊 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C08F216/14 | 分类号： | C08F216/14;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王维玉;丁业平 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种包括含有金刚烷基烷基乙烯醚共聚物的光敏聚合物，及含有该光敏聚合物的光阻剂组合物。例如包括具有如下通式共聚物的光敏聚合物：其中x为1～4的整数，R1为氢原子或甲基，R2为酸不稳定的C4～C20的烃基，p/(p+q+r)＝0.1～0.4，q/(p+q+r)＝0.1～0.5，及r/(p+q+r)＝0.1～0.4。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 金刚 烷基 乙烯 光敏 聚合物 光阻剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种包括具有如下通式共聚物的光敏聚合物：![]()
其中x为1～4的整数，R1为氢原子或甲基，R2为酸不稳定的C4～C20的烃基，p/(p+q+r)＝0.1～0.4，q/(p+q+r)＝0.1～0.5，及r/(p+q+r)＝0.1～0.4。
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