[发明专利]微型振动式双轴感测陀螺仪有效
| 申请号： | 03149769.1 | 申请日： | 2003-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN1580700A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 陈怡加;张凯程;范光钱;许铭修;梁佩芳 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01C19/16 | 分类号： | G01C19/16 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨;王国权 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型振动式双轴感测陀螺仪，包括一基座，于基座中心设有一支撑柱，于支撑柱外围设有复数以该支撑柱为中心、等水平高度径向向外成放射状延伸的悬臂，悬臂外侧端以该悬臂为中心分向两侧等距水平延伸形成一平台，于平台顶部两端各电镀有一电容感测电极或静电驱动电极，于平台下方设有静电驱动电极或电容感测电极；其结构具有对称性，因此拥有X或Y方向双轴感测性能，稳定性与抗环境振噪能力较佳，可提升感测性能，并其加工方式简单，适于大量生产、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 振动 式双轴感测 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种微型振动式双轴感测陀螺仪，包括：一基座，其中心设有一支撑柱；多个悬臂，设置于支撑柱外围并以该支撑柱为中心径向向外成放射状延伸；一平台，设置于悬臂的外侧端，以该悬臂为中心分向两侧水平延伸；静电驱动电极，设置于平台下方的该基座顶部相对应于平台处；以及数个电容感测电极，设置于平台顶部。
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