[发明专利]介孔网络电路的制作方法无效
| 申请号： | 03150557.0 | 申请日： | 2003-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN1491075A | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | 沙健;张年生;勇本收;杨德仁;牛俊杰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H01L21/82 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种介孔网络电路的制作方法。其方法步骤如下：1)把99.99％的铝箔退火：把铝箔剪成适当大小，然后在500℃下退火3小时；2)退过火的铝箔在草酸中一次氧化：草酸浓度为0.3ml，氧化时间为3小时；3)清洗：放到6wt％H3PO4+1.8wt％H2CrO4中浸泡6小时，去掉一次氧化物；4)二次氧化：草酸浓度为0.3ml，氧化时间为10小时；5)用CuCl2溶液除去背面未被氧化的铝；6)清洗：放到磷酸中浸泡90min，取出后用去离子水冲洗干净就得到了氧化铝模板；7)镀金：用磁控溅射法在得到的氧化铝模板上镀金1－10分钟就得到介孔网络电路。本发明的优点是：工艺简单，并且在线度上能达到纳米尺度。 | ||
| 搜索关键词： | 网络 电路 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种介孔网络电路的制作方法，其特征在于，方法步骤如下：1)把99.99％的铝箔退火：把铝箔剪成直径1-2cm的圆片，然后在400--600℃下退火3--5小时；2)退过火的铝箔在草酸中一次氧化：草酸浓度为0.3ml，氧化时间为3--4小时；3)清洗：放到6wt％H3PO4+1.8wt％H2CrO4中浸泡5--7小时，去掉一次氧化物；4)二次氧化：草酸浓度为0.3ml，氧化时间为9--11小时；5)用CuCl2溶液除去背面未被氧化的铝；6)清洗：放到磷酸中浸泡80--100min，取出后用去离子水冲洗干净就得到了氧化铝模板；7)镀金：用磁控溅射法在得到的氧化铝模板上镀金1-10分钟就得到介孔网络电路。
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