[发明专利]片状金属导电装置及使用所述装置的处理室有效
| 申请号： | 03151023.X | 申请日： | 2003-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN1599514A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 黄文助 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H01R4/58 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷;董方源 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于与加热器相连的片状金属导电装置，包括：导电装置主体、位于导电装置主体一端的加热器连接部分和位于导电装置主体另一端的电源连接部分，其特征在于金属导电装置主体包括扭转部分。本发明还提供了一种制造用于与加热器相连的金属导电装置的方法，包括如下步骤：提供一种片状金属导电条，其中片状金属导电条包含：主体、主体一端的加热器连接部分和主体另一端的电源连接部分；以及扭转片状金属导电加热条的主体的一部分，以在所述的主体上形成一扭转部分。本发明还提供了一种使用本发明的片状金属导电装置的处理室。 | ||
| 搜索关键词： | 片状 金属 导电 装置 使用 处理 | ||
【主权项】：
1.一种用于与加热器相连的片状金属导电装置，所述装置包括：导电装置主体；位于所述导电装置主体一端的、用于与加热器连接以向加热器传输电流的加热器连接部分，以及位于所述导电装置主体另一端的、用于与电源提供/传输装置相连、以从所述电源提供/传输装置向所述金属导电装置传输电流的电源连接部分，其特征在于，所述金属导电装置主体包括扭转部分。
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