[发明专利]宽频白光干涉仪无效

专利信息
申请号: 03151088.4 申请日: 2003-09-19
公开(公告)号: CN1527023A 公开(公告)日: 2004-09-08
发明(设计)人: 陈建文;高鸿奕;朱化凤;谢红兰;李儒新;徐至展 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02;G06F3/14
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 张泽纯
地址: 201800上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种宽频白光干涉仪,包括一平行光源,其特征在于沿光束前进的方向依次还有波带片、针孔光阑、待测物体、探测器和计算机,所述的波带片是一菲涅尔波带片,所述的待测物体的位置满足关系式:z0(p+f)=p2,式中:Z0-待测物体到探测器的距离;p-针孔光阑到探测器的距离;f-菲涅尔波带片的焦距长。本发明宽频白光干涉仪对相干性较差的X射线、中子、原子束以及远紫外波段特别适合,是一种极为值得推广的高性能干涉仪。
搜索关键词: 宽频 白光 干涉仪
【主权项】:
1、一种宽频白光干涉仪,包括一平行光源(1),其特征在于沿光束前进的方向依次还有波带片(2)、针孔光阑(3)、待测物体(4)、探测器(5)和计算机(6),所述的波带片(2)是一菲涅尔波带片,所述的待测物体(4)的位置满足关系式: z0(p+f)=p2 式中:Z0-待测物体(4)到探测器(5)的距离; p-针孔光阑(3)到探测器(5)的距离; f-菲涅尔波带片的焦距长。
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