[发明专利]静电电容传感器有效
| 申请号： | 03152263.7 | 申请日： | 2003-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1484020A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 小仓勉 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 包于俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明揭示一种静电电容传感器(10)，包括一对在绝缘基板(11)的表面对向配置的电极(21、22)、及紧密地配置在两电极间的湿敏膜(30)。两电极由具有比湿敏膜的线热膨胀系数小，并与绝缘基板的线热膨胀系数相同程度的线热膨胀系数的导电材料构成，传感器置于高温高湿的环境下能抑制湿敏膜的泡胀，其结果，能抑制静电电容传感器特性漂移劣化。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种静电电容传感器，具有第1、第2电极、设置在两电极间的气体感应膜、及保持两电极和气体感应膜的绝缘基板，其特征在于，所述第1、第2电极互相相向对置、固定在所述绝缘基板的一表面上，此外具有比所述气体感应膜的线热膨胀系数小并与所述绝缘基板的线热膨胀系数程度相同的线热膨胀系数。
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