[发明专利]平面板制造设备用的板搬送排气台车无效
| 申请号： | 03152276.9 | 申请日： | 2003-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN1484269A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 木曾田欣弥 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00;H01J9/385 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 谢喜堂 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种平面板制造设备用的板搬送排气台车(1)，具有：形成能排气·供气并保持接头管(24)的排气头(25)；在接头管(24)被封装、通过接头管(24)和排气头(25)被排气、进行气体注入后，将对接头管(24)进行密封、断开而被密封的横置状态的平面板(P)支承在配设于多处的板支柱(28A、28B)上的板容纳料架(13)，除了靠近接头管(24)的至少1个特定的板支柱(28A)外的其它板支柱(28B)，与板支柱(28A)相比，更容易形成相对所述平面板(P)沿横向相对移动。本发明可防止接头管与平面板上的接头管封装部之间的位置偏移及接头管损坏，提高平面板制造的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 制造 备用 板搬送 排气 台车 | ||
【主权项】：
1、一种平面板制造设备用的板搬送排气台车，具有：形成能排气·供气并保持接头管的排气头；在所述接头管被封装、通过所述接头管和排气头被排气、进行气体注入后，将对所述接头管进行密封、断开而被密封的横置状态的平面板支承在配设于多处的板支柱上的板容纳料架，其特征在于，对于在所述板支柱内、除了靠近所述接头管的至少1个特定的板支柱外的其它板支柱，与所述特定的板支柱相比，构成更容易形成相对所述平面板沿横向相对移动。
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