[发明专利]液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置及电子仪器无效
| 申请号： | 03152448.6 | 申请日： | 2003-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1475346A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 高野丰;中村真一;臼田秀范;山田善昭 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/00 | 分类号： | B41J2/00;G02B5/20;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种液滴喷出装置。其包括：将喷嘴面设置成与工件(W)平行对峙的功能液滴喷出头(10)；测定所述工件(W)的表面与所述喷嘴面之间的工件间隙的间隙测定装置(15、16)；根据所述间隙测定装置(15、16)的测定结果，使所述功能液滴喷出头(10)及所述工件(W)在上下方向上进行相对的移动，由此来调整工件间隙的间隙调整装置(32)。由此，可对工件(W)与功能液滴喷出头(10)之间的工件间隙自动地进行微调。 | ||
| 搜索关键词： | 喷出 装置 电光 制造 方法 电子仪器 | ||
【主权项】：
1.一种液滴喷出装置，其特征在于：包括将喷嘴面设置成与工件平行对峙的功能液滴喷出头；测定所述工件的表面与所述喷嘴面之间的工件间隙的间隙测定装置；根据所述间隙测定装置的测定结果，使所述功能液滴喷出头及所述工件在上下方向上进行相对的移动，由此来调整工件间隙的间隙调整装置。
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