[发明专利]弹性表面波装置及其制造方法

摘要

一种弹性表面波装置，由以下部分构成：在钽酸锂压电衬底的一主面上形成了IDT电极、连接电极和外周密封电极的弹性表面波元件；形成了通过焊锡凸台构件与所述连接电极连接的元件连接用电极、通过焊锡密封构件与所述外周密封电极接合的外周密封导体膜的基衬底。而且，焊锡凸台构件和焊锡密封构件使用包含90％以上Sn的Sn－Sb类或Sn－Ag类的无铅焊锡，所述基衬底的热膨胀系数设定为9～20ppm/℃。可以提供一种对于热膨胀系数差引起的热应力能非常稳定地接合，并且能够维持长期稳定连接的弹性表面波装置。

主权项

1.一种弹性表面波装置，其特征在于：具有：包含压电衬底，在它的一个主面上形成了交叉指型换能器电极、与该交叉指型换能器电极连接的连接电极和外周密封电极的弹性表面波元件；形成了与所述连接电极连接的元件连接用电极、与所述外周密封电极接合的外周密封导体膜以及外部端子电极的基衬底；覆盖在弹性表面波元件的另一主面和侧面上的外装树脂层；在所述基衬底和所述弹性表面波元件之间，通过焊锡凸台构件接合所述连接电极和元件连接用电极，以便形成规定间隙，通过焊锡密封构件接合所述外周密封电极和所述外周密封导体膜；所述焊锡凸台构件和焊锡密封构件是包含90％以上Sn的Sn-Sb类或Sn-Ag类的无铅焊锡，所述基衬底的热膨胀系数是9～20ppm/℃。