[发明专利]研磨液组合物有效
| 申请号： | 03152478.8 | 申请日： | 2003-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1475542A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 北山博昭;藤井滋夫;萩原敏也 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种研磨液组合物，含有0.03－0.5重量％的有机酸或其盐、研磨材和水，且该研磨材的表面电位为－140～200mV；一种倒棱降低剂，其由具有控制研磨液组合物中的研磨材表面电位的特性的无机化合物构成，在制备含有研磨材(用α型的刚玉晶体构成的Al2O3纯度为98.0重量％以上的高纯度氧化铝)20重量份、柠檬酸1重量份、水78重量份及无机化合物1重量份而成的基准研磨液组合物的场合，通过该无机化合物的存在，该基准研磨液组合物中的研磨材的表面电位被控制在－110～250mV。该研磨液组合物或倒棱降低剂组合物可很好地用于精密部件用基板的研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液组合物，含有0.03-0.5重量％的有机酸或其盐、研磨材和水，且该研磨材的表面电位为-140～200mV。
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