[发明专利]用于抛光铜基金属的浆有效
| 申请号： | 03152491.5 | 申请日： | 2003-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN1497029A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 土屋泰章;青柳健一;井上智子;板仓哲之;樱井伸 | 申请（专利权）人： | 恩益禧电子股份有限公司;东京磁气印刷株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏;王维玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于抛光铜基金属的浆，包括二氧化硅抛光材料，氧化剂，氨基酸，三唑类化合物和水，其中，所述氨基酸与所述三唑类化合物的含量比(氨基酸/三唑类化合物(重量比))为5－8。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 基金 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光铜基金属的浆，包括二氧化硅抛光材料，氧化剂，氨基酸，三唑类化合物和水，其中，所述氨基酸与所述三唑类化合物的含量比(氨基酸/三唑类化合物(重量比))为5-8。
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