[发明专利]衬底处理系统和衬底处理方法

摘要

一种衬底处理系统，配置有通过对含氧气体放电而产生含臭氧气体的臭氧发生器，以及多个都能够在其中容纳衬底以通过供应的含臭氧气体处理衬底的处理容器。流量调节器控制供给臭氧发生器的含氧气体。控制器控制流量调节器，从而通过控制供给臭氧发生器的含氧气体的流速来控制来自臭氧发生器并供给一个或多个处理容器的含臭氧气体的流速。

主权项

1.一种衬底处理系统，包括：配有电极的臭氧发生器，它通过电极对供给臭氧发生器的含氧气体进行放电而产生含臭氧气体；多个处理容器，每个处理容器都适于利用臭氧发生器产生的含臭氧气体处理置于其中的衬底；多个含臭氧气体供给管，每个含臭氧气体供给管将臭氧发生器与每个处理容器相连；流量调节器，适于调节供给臭氧发生器的含氧气体的流速；以及控制器，配置成确定处理容器在进行处理时对含臭氧气体需求量，并配置成控制流量调节器以便调节供给臭氧发生器的含氧气体的流速，从而使得从臭氧发生器排出以供给一个或多个处理容器的含臭氧气体的流速与含臭氧气体需求量一致。