[发明专利]有机电激发光元件的成膜设备无效
| 申请号： | 03153448.1 | 申请日： | 2003-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN1582069A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 刘奕明;郭一政;庄铭洋;郑维扬 | 申请（专利权）人： | 胜华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 台湾省台中县潭子*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机电激发光元件的成膜设备，其利用携带气体将坩埚内的蒸气(蒸镀材料分子)经由加热管传输至该混合腔体机构的温度控制式中空腔体内，且利用该聚焦腔体表面的圆弧设计，提供聚焦功效，又该蒸气通过中空旋转轴流至旋转扫描臂内，该中空旋转轴通过一传动单元驱动旋转，并利用旋转扫描臂表面的多个喷洒孔将蒸气以旋转方式沉积于基板的表面，使该基板表面形成一均匀膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 机电 激发 元件 设备 | ||
【主权项】：
1.一种有机电激发光元件的成膜设备，其包括：一蒸镀源机构(10)、一混合腔体机构(20)、一中空旋转轴机构(30)、一微调机构(40)、及一真空机构(50)；其特征在于，所述中空旋转轴机构(30)包括：一中空旋转轴(31)，其一端枢接于所述混合腔体机构(20)，另一端与一旋转扫描臂(32)固接，所述旋转扫描臂(32)的表面设有多个喷洒孔(320)；一传动单元(33)，包含一驱动源(330)及一传动体(331)，且所述传动体(331)绕设于所述中空旋转轴(31)上，通过所述驱动源(330)驱动所述传动体(331)的转动，使所述传动体(331)可以带动所述中空旋转轴(31)转动。
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