[发明专利]基板装置及其制造方法、电光装置以及电子设备

摘要

在基板上，具备包含半导体层的TFT；与上述半导体层的一部分电气连接的第1电极；与第1电极相对配置的第2电极；由包含被配置在第1电极以及第2电极之间的氮化膜的电介质膜构成的，被形成在上述TFT上的电容器。上述氮化膜，平面地看，具有可以面对上述半导体层的开口部。相对半导体层的氢化，通过使用该开口部，可以有效地进行。

主权项

1.一种基板装置，其特征在于，具备：被设置在基板上包含半导体层的薄膜晶体管；以及由与上述半导体层的一部分电气连接的第1电极、与该第1电极相对配置的第2电极、和包含被配置在上述第1电极以及上述第2电极之间的氮化膜的电介质膜构成，被形成在上述薄膜晶体管上的电容器；其中，上述氮化膜，具有用于将上述半导体层氢化的开口部。