[发明专利]具铟锡氧化物画素电极的有机发光显示组件的制作方法

摘要

一种有机发光显示组件的制作方法，首先制作一氧化铟锡层于一基板的上表面，并形成一光阻层于氧化铟锡层的上表面，以定义氧化铟锡层的图案。随后，透过此光阻层蚀刻氧化铟锡层，并通入一反应气体，增加侧向蚀刻光阻层的速率，以逐步露出光阻层下方的氧化铟锡层，使蚀刻后氧化铟锡层的图案边缘处，产生一平缓斜坡延伸至基板的上表面。随后，制作一有机发光层于基板上，覆盖氧化铟锡层，并制作一导电层于有机发光层上。

主权项

1、一种有机发光显示组件的制作方法，其特征在于，该制作方法至少包括以下步骤：提供一基板；制作一氧化铟锡层于该基板的上表面；制作一光阻层于该氧化铟锡层的上表面，并且，该光阻层具有一开口以暴露该氧化铟锡层；蚀刻该氧化铟锡层，并通入一第一反应气体，增加侧向蚀刻该光阻层的速率，以逐步露出该光阻层下方的该氧化铟锡层，使该氧化铟锡层的图案边缘处，产生一平缓斜坡延伸至该保护层的上表面；去除残余的该光阻层；制作一有机发光层于该基板的上方，且覆盖该氧化铟锡层；以及制作一导电层于该有机发光层的上表面。