[发明专利]流体喷射装置及其制作方法无效
| 申请号： | 03154029.5 | 申请日： | 2003-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN1579779A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 胡宏盛;陈苇霖;徐聪平 | 申请（专利权）人： | 明基电通股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 贾静环;宋莉 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流体喷射装置的制造方法。上述方法包括提供基底并形成至少一个加热器于基底上。接着，形成图案化导电层于加热器与基底上。形成保护层覆盖导电层与基底上，以隔绝导电层。然后，依序蚀刻保护层与基底以形成开口。形成图案化厚膜于保护层上，其中定义有流体腔。最后，移除部分基底底部，使基底的厚度变薄至开口成为贯穿基底的喷孔。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 喷射 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种流体喷射装置的制造方法，包括下列步骤：提供基底；形成至少一个加热器于该基底上；形成图案化导电层于该加热器与该基底上；形成保护层覆盖该导电层与该基底上，以隔绝该导电层；依次蚀刻该保护层与该基底以形成开口；形成图案化厚膜于该保护层上，其中定义有流体腔；以及移除部分该基底底部，使该基底的厚度变薄至该开口成为贯穿该基底的喷孔。
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