[发明专利]制膜方法及其制膜装置和器件制造方法及其器件制造装置无效
| 申请号： | 03154391.X | 申请日： | 2003-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN1485205A | 公开（公告）日： | 2004-03-31 |
| 发明（设计）人： | 小山实 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/00 | 分类号： | B41J2/00;G02B5/00;G02F1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明可以提高预喷时的生产率。本发明的方法包括喷头21进行预喷液滴的预喷工艺、使喷头21与工件W之间作相对移动，喷头21对工件W表面喷出液滴的液滴喷出工艺。液滴的预喷是在喷头21和工件W的相对移动中进行。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 及其 装置 器件 制造 | ||
【主权项】：
1、一种制膜方法包括喷头预喷液滴的预喷工艺、使上述喷头与工件之间作相对移动，从上述喷头向上述工件表面喷出液滴的液滴喷出工艺的制膜方法，其特征在于：上述液滴的预喷是在上述喷头和上述工件的相对移动中进行的。
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