[发明专利]压力装置无效

专利信息
申请号: 03154394.4 申请日: 2003-08-21
公开(公告)号: CN1485191A 公开(公告)日: 2004-03-31
发明(设计)人: 三宅健 申请(专利权)人: 三荣技研股份有限公司
主分类号: B29C43/18 分类号: B29C43/18;B29C43/02;B29C43/56
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李香兰
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种压力装置,该压力装置具有下侧加压块(30)与上侧加压块(16)。在下侧加压块(30)与上侧加压块(16)之间搬入表面保持有薄膜状材料(12)的基板(11)。第1驱动装置(35)使下侧加压块(30)移动、向上侧加压块(16)上升,在双方的加压块之间对基板(11)及薄膜状材料(12)加压而使其紧密层压。具有驱动缸(25)、缸杆(26)及杠杆(27)的第2驱动装置(24)被设在基座部件(13)与支撑上侧加压块(16)的上侧支撑部件(17)之间。通过使第2驱动装置(24)动作来使上侧加压块(16)产生转动,从而可扩大下侧加压块(30)与上侧加压块(16)之间的空间,使维护保养变得容易。
搜索关键词: 压力 装置
【主权项】:
1.一种压力装置,在基板上层压薄膜状材料或将基板上的薄膜状材料平坦化,其特征在于,包括:下侧加压块,是具有对基板及薄膜状材料进行加热用的加热器的下侧加压块、设在所述下侧加压块的上方的上侧加压块,也是具有对基板及薄膜状材料进行加热用的加热器的上侧加压块、通过使所述下侧加压块相对所述上侧加压块移动而使双方的加压块相靠近、对所述薄膜状材料及所述基板进行加压用的第1驱动装置、和通过在使所述上侧加压块产生转动而扩大所述下侧加压块与所述上侧加压块之间的空间用的第2驱动装置。
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