[发明专利]静电射频微电机械系统开关无效
| 申请号： | 03154570.X | 申请日： | 2003-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN1485873A | 公开（公告）日： | 2004-03-31 |
| 发明（设计）人： | 宋寅相;金永一;李文喆;沈东河;弘荣泽;朴仙姬;南光佑 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李瑞海;王景刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种微型开关，包括：形成在基底上的电介质层，该电介质层具有移动区；导电层，形成在移动区的预定部分上；电介质薄膜，形成在导电层上；第一和第二电导体，在电介质薄膜的上方的预定距离形成；一个或两个下电极，形成在移动区上；以及一个或两个上电极，在下电极上方的预定距离形成，当在上电极和下电极之间产生静电力时，两个上电极导致导电层和电介质薄膜向上移动，并且使第一和第二电导体电容联接，以便使电流在第一和第二电导体之间流动。这种微型开关的通断率和隔离度高，结构简单，并且可以以非常简单的加工过程制造。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 射频 微电机 系统 开关 | ||
【主权项】：
1、一种微型开关，该开关包括：基底；形成在该基底上的电介质层，该电介质层具有由电介质层的预定部分形成的移动区，该移动区借助于形成在移动区两侧上的铰接部分上下移动；导电层，形成在移动区的预定部分上；电介质薄膜，形成在导电层上；第一和第二电导体，在电介质薄膜的上方的预定距离处形成；两个下电极，形成在移动区上；以及两个上电极，在两个下电极上方的预定距离处形成，当在下电极内产生静电力时，该两个上电极导致导电层和电介质薄膜向上移动，并且与第一和第二电导体电容联接，以便使电流信号在第一和第二电导体之间流动。
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