[发明专利]集成视觉成像和电子检测检查系统

摘要

一种用于液晶显示器(LCD)的有源盘的集成检查测试系统。该集成检查测试系统可以使视觉成像检查与电子检测如电压成像、电子束检测或电荷检测结合，其中，将由视觉检查系统获得的潜在缺陷信息与由电子检测系统获得的潜在缺陷信息结合，产生缺陷报告。使一个或多个高分辨率视觉照相机在静止的盘上进行扫描，并且对来自照相机的图像数据进行处理，以便检查潜在缺陷。高分辨率电子检测系统检查静止的盘，并且对来自传感器的图像数据进行处理，以便检查潜在缺陷。对来自视觉图像数据和电子检测图像数据的潜在缺陷进行处理，从而产生最终的缺陷信息。

主权项

1.一种设备，用于对液晶显示器的有源盘进行检查，该有源盘具有与有源盘上的第一侧和第二侧上的行和列线耦合的有源元件的矩阵，包括：在单个检查站里，适合于固定有源盘并且与有源盘的第一侧上的行和列线电气接触的一个固定器，处在提供固定器中的有源盘的视觉图像数据的位置的一个视觉图像照相机，以及布置在靠近有源盘的第一边的位置，适合于检测有源盘的运行的一个电子传感器；一个处理器，与所述固定器电气耦合，从而与在固定器中的有源盘电气耦合并且对在所述固定器中的有源盘进行电气操作；一个视觉图像处理器，与视觉图像照相机耦合，接收所述固定器中的有源盘的视觉图像数据并且对视觉图像数据进行处理以便检测有源盘中的缺陷；以及一个电子传感器输出处理器，与电子传感器电气耦合，对电子传感器的输出进行处理，以便检测有源盘操作中的缺陷。