[发明专利]运送方法无效
| 申请号： | 03154831.8 | 申请日： | 2003-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN1485257A | 公开（公告）日： | 2004-03-31 |
| 发明（设计）人： | 渡边亲一;小林义明;若林隆之 | 申请（专利权）人： | 联晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以防止在半导体制造生产线等的制造生产线中的制造装置的运行率低下的有轨运送系统。在堆料器(BS1、BS2)之间铺设的1根运送导轨(3)上，预先配置2台(RGV11A、11B)，例如在进行设置于堆料器(BS1)和堆料器(BS2)之间的制造装置(EQ8)的维护的情况下，将(RGV11A)的运送区域(MA1)设置为从堆料器(BS1)到制造装置(EQ7)，将(RGV11B)的运送区域(MA2)设置为从堆料器(BS2)到制造装置(EQ9)。 | ||
| 搜索关键词： | 运送 方法 | ||
【主权项】：
1.一种运送方法，使用连结多个制造装置之间的单线轨道、和沿上述单线轨道动作的多个运送机构，将被运送体向上述制造装置运送，其特征在于，上述各自的运送机构都具有第1阶段以及上述第1阶段后的第2阶段的运送形式，在上述第1阶段中的上述运送机构的第1运送区域和在上述第2阶段中的上述运送机构的第2运送区域是不同的范围。
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