[发明专利]研磨垫用组合物以及使用它的研磨垫有效

专利信息
申请号: 03154996.9 申请日: 2003-08-26
公开(公告)号: CN1487015A 公开(公告)日: 2004-04-07
发明(设计)人: 保坂幸生;冈本隆浩;长谷川亨;川桥信夫;森野克昭 申请(专利权)人: JSR株式会社
主分类号: C08L23/08 分类号: C08L23/08;C08J5/14;B24D3/28
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 王健
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及研磨垫用组合物以及使用它的研磨垫。目的在于提供成形性及耐磨耗性优异,纵弹性模量的温度依赖性小的研磨垫用组合物以及使用它的研磨垫。本研磨垫用组合物含有非水溶性基质和分散于该非水溶性基质中的水溶性粒子,其中,上述非水溶性基质含有交联乙烯-醋酸乙烯共聚物、和/或不含有交联1,2-聚丁二烯,且相对于上述非水溶性基质全体,含有规定量。
搜索关键词: 研磨 组合 以及 使用
【主权项】:
1.一种研磨垫用组合物,含有非水溶性基质和分散于该非水溶性基质中的水溶性粒子,其特征在于上述非水溶性基质含有交联乙烯-醋酸乙烯共聚物,并且不含有交联1,2-聚丁二烯,当上述非水溶性基质全体为100质量%时,上述交联乙烯-醋酸乙烯共聚物的含有比例为10质量%以上。
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