[发明专利]二维激励器及其制造方法无效
申请号: | 03155680.9 | 申请日: | 2003-09-02 |
公开(公告)号: | CN1490240A | 公开(公告)日: | 2004-04-21 |
发明(设计)人: | 高泳哲;李振镐 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | B81B5/00 | 分类号: | B81B5/00;H02N1/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种激励器,包括具有第一方向和垂直第一方向的第二方向并围绕垂直于第一方向和第二方向的第三方向相对沿第一方向的中心轴往复运动的平台。第一支撑部分支撑平台的往复运动。基体在平台下面对平台并由第一支撑部分支撑。平台驱动部分具有第一驱动梳状电极和与第一驱动梳状电极对应的第一静止梳状电极,位于平台的下表面和基体面对平台的上表面上。第二支撑部分支撑第一支撑部分,使得第一支撑部分相对于沿该第二方向设置的旋转中心轴往复运动。第一支撑部驱动部分具有设置在第一支撑部分处的第二驱动梳状电极和固定地处于第二驱动梳状电极对应位置处的第二静止梳状电极从而产生第一支撑部分的往复运动。 | ||
搜索关键词: | 二维 激励 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种激励器,包括:平台,具有第一方向和与该第一方向相垂直的第二方向,并且围绕垂直于该第一方向和第二方向的第三方向相对于沿该第一方向设置的旋转中心轴往复运动;第一支撑部分,支撑平台的往复运动;基体,在平台下预定间隔处面对平台,并由第一支撑部分支撑;平台驱动部分,具有多个第一驱动梳状电极和与第一驱动梳状电极相对应的多个第一静止梳状电极,其分别形成在每个平台的下表面和基体面对平台的上表面上;第二支撑部分,支撑第一支撑部分,使得第一支撑部分相对于沿该第二方向设置的旋转中心轴往复运动;以及第一支撑部驱动部分,具有设置在第一支撑部分处的第二驱动梳状电极和固定地处于与第二驱动梳状电极相对应的位置处的第二静止梳状电极,从而产生第一支撑部分的往复运动。
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